図解即戦力 半導体プロセスのしくみとビジネスがこれ1冊でしっかりわかる教科書
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お詫びと訂正（正誤表）
本書の以下の部分に誤りがありました。ここに訂正するとともに，ご迷惑をおかけしたことを深くお詫び申し上げます。
（2025年3月17日最終更新）
P.63の「ダブルパターニング（SADP）」の図の⑤と⑥（2箇所）
| 誤 | SiN |
|---|---|
| 正 | Si3N4 |
P.109の「枚葉式」の図
| 誤 | レーザーアニール |
|---|---|
| 正 | レーザアニール |
P.109の「枚葉式」の図
| 誤 | エキシマレーザー |
|---|---|
| 正 | エキシマレーザ |
P.135の「枚葉式クラスタシステムの例」の図
| 誤 | Foup |
|---|---|
| 正 | FOUP |
P.173の「電解めっき法のよるバンプ形成」の図
| 誤 | 電界めっき法 |
|---|---|
| 正 | 電解めっき法 |
（以下2025年2月26日更新）
P.110の下から8行目
| 誤 | UVLAC |
|---|---|
| 正 | ULVAC |